AOI粒子检视觉核心算法软件来源于日本PFA，系统主要性能参数如下：

分辨率：0.5μm；

IC：检测框Bump的全数检查

・全Bump的压痕判定

・Bump有效粒子数判定：Min. 2.5μm

・Bump连接偏位判定：±1μm

・检测框内Bump上的异物/划伤/气泡/破片判定：5μm

・Bump间异物判定

FPC：检测框Bump的全数检查

・全Bump的压痕判定

・Bump有效粒子数判定：Min. 2.5μm

・Bump连接偏位判定：±2μm

・检测框内Bump上的异物/划伤气泡/破片判定：10μm

・Bump间异物判定

过检率：10%以下

漏检率：0%